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에스에프솔루션, 600mm 반도체 장비 개발 선정
2026.10.13
반도체소재장비
에스에프솔루션, 스케일업 팁스 선정…600mm 실리콘 장비 개발
원문 읽기
09:44 발행
반도체 실리콘 성장장비 전문기업 에스에프솔루션이 중소벤처기업부 산하 기관의 '스케일업 팁스' 연구개발 과제에 최종 선정됐습니다.
총 40억원 규모의 사업비를 투입해 2029년 8월까지 반도체용 600mm급 초대구경 단결정 실리콘 잉곳 성장장비를 개발한다고 설명했는데요.
회사는 국내 최초 600mm급 장비 개발 후 실증과 고객 검증을 거쳐 상용화 레퍼런스를 확보할 계획입니다.
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