중국 랑다오쑤이옌, 국산화율 90% EUV 광원 시제품 공개
2026.10.15
반도체소재장비
중국 랑다오쑤이옌, EUV 광원 시제품 공개…국산화율 90% 주장
17:14 발행
- 중국업체 랑다오쑤이옌이 상하이에서 열린 제26회 중국국제공업박람회에서 자체 개발한 EUV 광원 시스템 시제품을 처음 선보였습니다.
- 업체 직원은 해당 시스템의 국산화율이 90%에 이르고 웨이퍼 노광 테스트에 사용할 수 있는 수준이라고 설명했습니다.
- 업체는 실제 상업적 양산까지 3∼5년이 필요하며 출력 증대와 장기 가동 시 안정성을 주요 도전과제로 지목했습니다.
