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Axcelis, Purion XEmax PMIC 양산 적합성 인증

2026.08.10

반도체소재장비

Axcelis, Purion XEmax 이온 주입기 PMIC 양산 적합성 인증 완료

AI 요약

02:48 발행

Axcelis Technologies는 미정 반도체 파운드리에서 Purion XEmax 이온 주입기의 PMIC 양산 적합성 평가를 성공적으로 마쳤습니다.
이 시스템은 스마트폰과 전기차 등 다양한 기기에 쓰이는 전력 관리 칩 제조를 위해 15 MeV 고에너지 공정 능력을 입증했습니다.
CEO 러셀 로우는 이번 평가가 고에너지 이온 주입 공정에 대한 고객 요구가 커지고 있음을 보여준다고 강조했습니다.

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