중립
KAIST-삼성, 반도체 온실가스 분해 촉매 개발
2026.09.03
반도체소재장비
KAIST-삼성전자, 반도체 온실가스 분해 신촉매 개발
17:37 발행
- KAIST 최민기 교수 연구팀과 삼성전자 연구진이 반도체 공정에서 배출되는 온실가스인 사불화탄소(CF4)를 효율적으로 분해하는 새로운 촉매를 개발했습니다.
- 새로 개발한 촉매는 기존 알루미나 촉매보다 CF4 분해 활성이 약 2.3배 높았으며, 가혹 조건 실험에서도 높은 전환율을 유지하는 성능을 보였습니다.
- 최민기 교수는 금속 조합을 변경해 다양한 반도체 공정가스 처리 촉매로 확장할 수 있는 소재 설계 방법을 제시했다는 점에서 의미가 있다고 말했습니다.
