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대한광통신, EUV용 유리기판 제조 특허 확보

2026.10.22
대한광통신, EUV용 유리기판 제조 특허 확보
반도체소재장비

대한광통신, EUV용 유리기판 제조 기술 특허 등록

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09:44 발행
  • 대한광통신이 EUV 노광 공정에 필요한 저열팽창 소재 기반 유리기판 제조 기술의 특허 등록을 완료했습니다.
  • 이번 성과로 국내에서 유일하게 EUV 포토마스크용 기판을 공급할 수 있는 기술 역량을 확보하고 시제품 개발도 마쳤습니다.
  • 현재 국내 반도체 블랭크마스크 업체와 양산 협업을 논의하며 향후 품질 검증과 생산체계 구축을 구체화할 계획입니다.
대한광통신
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