호재

대한광통신, 반도체 레이저 히터 특허 등록

2026.10.29

반도체소재장비

대한광통신, 반도체 기판 균일 가열 특허 등록

10:09 발행

대한광통신은 국내 반도체 장비사와 협력해 출원한 반도체 공정 장비용 대면적 기판 균일 가열 기술에 대해 특허 등록 결정을 받았습니다.
해당 기술은 반도체 웨이퍼나 대형 패널 기판의 표면 온도를 비접촉 방식으로 측정하고 다수의 레이저 출력을 개별 제어해 기판 중심부와 가장자리의 온도 편차를 실시간으로 보정합니다.
회사는 이를 바탕으로 반도체 전·후공정 장비에 적용할 수 있는 고출력 레이저 히터 사업을 확대할 계획입니다.